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2005年06月30日
研磨パッド・定盤の平坦度測定器フラットチェイサーを発売
- フラットチェイサーは、CMP装置や両面研磨装置における、研磨パッドや定盤面の平坦形状を定量的に測定します。簡単操作で、平坦形状を数分で測定し表示します。
- パッドや定盤は、ウェーハの加工に直接関与するものであり、これらの平坦度の転写により加工の精度が決定されます。ウェーハ及びデバイスの歩留り管理に不可欠である、パッドや定盤の適正な平坦度管理をフラットチェイサーは可能にします。
- 両面研磨装置用に、上定盤 (パッド) の平坦度測定機能もオプションで付属します。
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