2006年03月01日

平面研磨装置の生産能力を増強

スピードファムは、平面研磨装置を製造する佐久工場を約 2,000 ㎡増床し、生産能力を拡充します。ベアシリコンウェーハ・磁気ディスクを中心とした幅広いマーケットニーズへ、より安定的に高精度な製品を提供します。
2006年7月の竣工・稼動を予定しています。

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• sfinfo@speedfam.com