スピードファムの新製品DSM22B-6L/Pは、22インチ径のキャリア（加工ワークを保持する治具）を６枚使用する両面加工装置であり、硬くて割れやすいガラス基板を加工するための各種機能を付加した装置となっています｡

加工能力は3.5インチあるいは3.0インチ、2.5インチ基板を各々108枚、130枚、180枚搭載して加工を行い、表面微少うねり（Micro-waviness）0.4nm以下の加工精度を実現しています。
特殊鋳鉄定盤を用いたラップ加工、定盤表面にパッドを貼り加工を行なうポリッシング加工など用途により使い分け、ガラス基板加工すべてに使用可能な性能・能力を持っています｡

磁気ディスクは年100%の記録密度向上が求められている電子部品であり､それに使用される基板品質も年々厳しさを増しています。また、回転数の大幅アップに伴い、近年、高強度材質のガラス基板が多用される傾向にあります。

加工時間が掛かるガラス基板のコストアップ問題に対する回答のひとつが、DSM22B-6L/Pです。量産性に優れ､高精度加工が実現できる本装置は、ガラス基板業界のニーズに応えます。

■特徴

1. ガラスディスク基板の超精密平坦加工
2. ラップからファイナルポリッシュまですべての平面加工に適用可
3. ガラスディスク用の各種機能をオプション付加
4. 高精度自動定寸機能（渦電センサーあるいはマグネスケール方式を選択可）
5. 他のアプリケーションに対応：シリコンウェーハ、水晶、アルミディスクなど