■ 問い合わせ先 : スピードファム株式会社 管理部 電話番号 : 0467-76-5460 FAX番号 : 0467-76-3185 E-mail : sfinfo@speedfam.com
フラットチェイサーは、CMP装置や両面研磨装置における、研磨パッドや定盤面の平坦形状を定量的に測定します。簡単操作で、平坦形状を数分で測定し表示します。
パッドや定盤は、ウェーハの加工に直接関与するものであり、これらの平坦度の転写により加工の精度が決定されます。ウェーハ及びデバイスの歩留り管理に不可欠である、パッドや定盤の適正な平坦度管理をフラットチェイサーは可能にします。
両面研磨装置用に、上定盤(パッド)の平坦度測定機能もオプションで付属します。
