■ 問い合わせ先 : スピードファム株式会社 管理部 電話番号 : 0467-76-5460 FAX番号 : 0467-76-3185 E-mail : sfinfo@speedfam.com
スピードファムの両面研磨装置DSM20B-5P-4Dは、200mm、300mmシリコンウェーハの高平坦度加工用に開発されたポリッシュ装置です。1バッチ300mm・5枚の処理能力は自動化、平坦度管理、安定量産に最も適したものであり、すでに国内外の大手シリコン材料メーカーに多くの実績があります。
当社は装置メーカーとして装置を供給するだけでなく、シリコンウェーハの高平坦度加工に必要不可欠な加工キャリア、ダイヤドレスキャリアなど、当社の保有する周辺機材、消耗部材もトータルに提供します。
