■ 問い合わせ先 : スピードファム株式会社 管理部 電話番号 : 0467-76-5460 FAX番号 : 0467-76-3185 E-mail : sfinfo@speedfam.com
スピードファムは、平面研磨装置を製造する佐久工場を約 2,000㎡増床し、生産能力を拡充します。ベアシリコンウェーハ・磁気ディスクを中心とした幅広いマーケットニーズへ、より安定的に高精度な製品を提供します。2006年7月の竣工・稼動を予定しています。
