FAM(Free Abrasive Machining) は、高硬度定盤上に自由に動く砥粒を流し、その切刃で高速研磨する、スピードファム独自の高効率片面ラップ加工です。簡便な操作性、メンテナンス性も特徴です。ラップ装置の他、パッドによるポリッシュ装置、ハードポリッシュ装置まで充実のラインナップを提供しています。シリコンベアウェーハから、金属、サファイアまで、広範なご要望に応える片面研磨装置シリーズです。