ナノオーダーのパーティクルを完全に除去する洗浄プロセスに挑戦しています。正確な分析とハード・ソフト全般の具現化能力で、信頼性の高い洗浄装置を提供します。

■ 代表的な製品

• 磁気ディスク洗浄装置
• ディスクドライブ部品洗浄装置
• FPD 基板洗浄ライン
• エレクトロニクス部品洗浄装置
• コピードラム洗浄装置
• 光学・電子部品洗浄装置
• 塗布装置・硬化装置
• 各種消耗副資材