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 ポリテックスパッド |
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| シリコンウェーハのメカノケミカルポリッシュに最適な研磨パッドです。しなやかで繊細、しかもベースに根を張ったマイクロレイアーにより耐久性も抜群です。ポリウレタン表面の気孔から研磨剤が押し流される事により、優れた研磨品質とレートを実現します。 |
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| セリウムパッド |
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| 硬質ポリウレタン樹脂発泡体にセリウム研磨剤を含んだ研磨パッドです。溝加工・穴加工・両面テープ付きなど二次加工にも対応しています。特にガラスの鏡面加工に威力を発揮します。 |
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| 洗浄液 |
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| ラップ後、ポリッシュ後の加工対象物に付着した研磨材や汚れを取り除くための洗浄液を用意しています。 |
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| ベルクリン |
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| PVA スポンジを使用した洗浄用ブラシ材です。水を含むと適度な弾力性を持ち、ワークに傷を付けずに表面の汚れを取り除きます。 |
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