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 加工用キャリア |
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| 多様な加工対象物の高精度加工を実現するため、 EG 、 PVC 、布入りベーク、 SK 、 BS 、 SUS など、各種材質の両面研磨用キャリアをラインナップしています。 |
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| ウェッジキャリア ( インサートキャリア ) |
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| 強度のある金属キャリアのワークホール部を樹脂化し、加工対象物端面のダメージを軽減します。強固な金属と樹脂の接合により、高負荷での加工が可能です。加工プロセスに合わせた各種対応が出来ます。 |
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| コーティングキャリア |
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| ワークのチッピングを防ぎ、薄物ポリッシング加工を高精度に行うスピードファム独自のキャリアです。 SUS キャリアに薄いエポキシ樹脂をコーティングし、シリコンウェーハ、化合物半導体ウェーハ、ガラスのポリッシュ加工に最適です。 |
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| キャリア厚み測定器 |
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| マイクロメーターによるキャリア厚みの測定バラツキを、キャリア厚み測定器は解消します。データをパソコンに自動出力する事も可能で、信頼性の高いキャリア厚管理を容易に行えます。 |
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