Edge Polisher

シリコンウェーハ及びデバイスウェーハ向け端面研磨装置です。エッジ部を鏡面化することにより、チップ歩留りを向上させます。スピードファムは、Edge Polisher のパイオニアとして、半導体チップの量産を支えます。デバイスウェーハ向け Edge Polisher は、エッジ部の異物などを除去・研磨することにより、最終的なチップ歩留りを改善します。300mm、 200mm の他、 150mm 用までラインナップしています。シリコンウェーハ向け Edge Polisher は、1988 年から現在まで約 600 台を出荷し、世界中のシリコンウェーハ生産工場で稼動するグローバルスタンダード装置です。 450mm から小径まであらゆるウェーハに対応します

高精度加工を支える、関連消耗副資材も揃えています。