Sorter/Prober
ソータは、ダイシング後のデバイスウェーハから各チップをトレーに移載し、プローバは、各チップの電気特性をチェックして良否を選別します。スピードファムのソータ・プローバは、高速かつ安定動作を実現しています。
WCP-150
ダイシング後ウェーハ上のチップを電気測定し、プローブ結果のマップを出力します。
- 1.5mm～15mm のチップに対応
- 4"～8"ウェーハに対応
- リングローダ付きの全自動装置
- 高電圧 (3kV) 対応
- フロリナート塗布・乾燥機構付き (スパーク防止)
- 位置、角度、NG マーク、コーナー等の画像認識
CT-200
5"～8"ウェーハ対応のリングｔｏトレーのチップ移載装置です。
- 0.5mm～12mmのチップに対応
- 位置、角度、NG マーク、コーナー等の画像認識
- 裏面検査機能 (オプション)
- プローブデータによるランク分類 (オプション)
- 外観検査機能 (オプション)
- チップ反転機能 (オプション)
U-TL-50
チップ記載の数字・文字を読み取り、適宜詰め替えるトレーｔｏトレーの移載装置です。
- 最小 1.5mmのチップに対応
- 文字の大きさは、最少 80×25um より対応
- マップデータを読み込んでの並び替えが可能
- 不要なチップをスキップ
- データの CSV 形式での保存が可能
PS-50M
2"～8"ウェーハに対応したトレーｔｏトレーの詰め替え装置です。
- トレーに詰め替える際に、チップの向きを揃えます
- 最少□ 0.25mm チップの詰め替えが可能
