Single Side Polisher/Lapper
FAM (Free Abrasive Machining) は、高硬度定盤上に自由に動く砥粒を流し、その切刃で高速研磨する、スピードファム独自の高効率片面ラップ加工です。簡便な操作性、メンテナンス性も特徴です。ラップ装置の他、パッドによるポリッシュ装置、ハードポリッシュ装置まで充実のラインナップを提供しています。シリコンウェーハから、金属、サファイアまで、広範なご要望に応える片面研磨装置シリーズです。当ウェブサイトに掲載のないモデルも多数ありますので、お気軽にお問い合わせ下さい。
ベアシリコンウェーハ向け研磨装置
FAM59SPAW / FAM50SPAW
シリコンベアウェーハ向け自動片面研磨装置です。セラミックプレート自動搬送、超低熱膨張定盤、定盤冷却、研磨ヘッドの単独強制駆動、精密エアー加圧、通信システムなど、様々な先進技術を搭載しています。
汎用 高精度研磨装置
FAM48BAW / SPAW
定盤径 48 インチの汎用片面研磨装置です。量産機として幅広い加工物に適用できます。ラップ、ハードポリッシュ、ポリッシュに対応します。耐蝕仕様、スラリー供給機器など豊富なオプションを揃えています。
FAM32BTAW / GPAW
定盤径 32 インチの汎用片面研磨装置です。幅広い加工物に対応する標準装置で、ラップ、ハードポリッシュ、ポリッシュに対応します。耐蝕仕様、スラリー供給機器など豊富なオプションを揃えています。
FAM12BS
定盤径 12 インチの卓上片面研磨装置です。小さな加工対象の量産から実験用途まで、幅広く使用できます。ラップ、ハードポリッシュ、ポリッシュに対応します。
SP-1700
定盤径 1700mm の揺動タイプ片面研磨装置です。主に 730x920 サイズの LCD ガラス基板のポリッシュに利用される量産装置です。その他の大型加工物へも採用されています。