Edge Profiler
エッジプロファイラは、材料基板のエッジ形状とノッチ形状を１台で測定する装置です。石英など透明なウェーハをはじめ、多様な基板に対応します。エッジグラインディングにおける品質管理と歩留り改善をサポートします。
EPRO-212
- １台でエッジ形状とノッチ形状が測定できます
- エッジ測定レンズの交換で、2"～12"基板に対応
- 測定画像は、BMP ファイルで保存され、他アプリケーションで編集可能
- 測定結果のデータは、テキストファイル (CSV形式) で保存
- エッジグラインダとオンラインで連携可能 (オプション)
- オリフラ長さやウェーハ直径の測定などにも柔軟に対応 (オプション)
エッジ形状測定表示イメージ
ノッチ形状測定表示イメージ
エッジテンプレート測定 (オプション)
予め合格範囲を設定し、加工済み基板が範囲に入っているか合否判定します。
| 機能 | 製品名 |
|---|---|
| エッジ形状測定 | EPRO-212E |
| ノッチ形状測定 | EPRO-212N |
| エッジ・ノッチ形状測定 | EPRO-212EN |
| エッジ形状測定・ビジュアルモニタ | EPRO-212EV |
EPRO-212EV では、エッジ形状測定に加え、カラーモニタでチッピングなどの観察も行えます。
U-ED-208ZA / U-ED-208
- １台でエッジ形状、ノッチ形状、直径が測定できます。U-ED-208ZA は完全自動モデル、U-ED-208 は手動モデルです。
- エッジ測定レンズ交換なしで、2"～8"基板に対応
- 基板厚み 3mm まで対応
- 測定画像は、BMP ファイルで保存され、他アプリケーションで編集可能
- 測定結果のデータは、テキストファイル (CSV形式) で保存
