Edge Profiler

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Edge Profiler

エッジプロファイラは、材料基板のエッジ形状とノッチ形状を1台で測定する装置です。石英など透明なウェーハをはじめ、多様な基板に対応します。エッジグラインディングにおける品質管理と歩留り改善をサポートします。

EPRO-212
EPRO-212
  1. 1台でエッジ形状とノッチ形状が測定できます
  2. エッジ測定レンズの交換で、2"~12"基板に対応
  3. 測定画像は、BMP ファイルで保存され、他アプリケーションで編集可能
  4. 測定結果のデータは、テキストファイル (CSV形式) で保存
  5. エッジグラインダとオンラインで連携可能 (オプション)
  6. オリフラ長さやウェーハ直径の測定などにも柔軟に対応 (オプション)

エッジ形状測定表示イメージ

ノッチ形状測定表示イメージ

エッジテンプレート測定 (オプション)

予め合格範囲を設定し、加工済み基板が範囲に入っているか合否判定します。

モデル

機能 製品名
エッジ形状測定 EPRO-212E
ノッチ形状測定 EPRO-212N
エッジ・ノッチ形状測定 EPRO-212EN
エッジ形状測定・ビジュアルモニタ EPRO-212EV

EPRO-212EV では、エッジ形状測定に加え、カラーモニタでチッピングなどの観察も行えます。

U-ED-208ZA/U-ED-208
U-ED-208ZA / U-ED-208
  1. 1台でエッジ形状、ノッチ形状、直径が測定できます。U-ED-208ZA は完全自動モデル、U-ED-208 は手動モデルです。
  2. エッジ測定レンズ交換なしで、2"~8"基板に対応
  3. 基板厚み 3mm まで対応
  4. 測定画像は、BMP ファイルで保存され、他アプリケーションで編集可能
  5. 測定結果のデータは、テキストファイル (CSV形式) で保存

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