フラットチェイサー

CMP 装置や両面研磨装置における、研磨パッドや定盤の平坦度測定機です。両面機の上定盤側も測定できます。ウェーハに直接接触するパッド・定盤の定量的な平坦度管理は、品質管理に不可欠となっています。

UH-I-9100

化合物半導体など各種エピ基板における、外周部のエピだまりを除去します。

• 2"～4"基板に対応
• 非接触でセンタリング

TH-3600

ラップ加工前の基板を厚みにより分類します。

• 3"～6"基板に対応
• 両面ラップ加工でのウェーハのセッティングでの均等化に寄与

UWT-150

非接触で抵抗率計測を行います(InP向け)。

• 2カセット(50枚)の自動搬送機構
• 計測結果は、テキストデータ保存(CSV形式)
• ロットの集計総数は、最大999枚

FX-1200WR

"～12"対応のウェーハ搬送ロボットです。低真空から高真空環境に対応したウェーハ搬送ロボットです。

• ダブルアーム方式
• 上段アーム先端にウェーハ表裏回転機構付
• RS-232C指令、I/O指令のインターフェース装備